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微观装置的制造及其处理网络彩票平台注册
  • 一种基于水冰的电子束诱导刻蚀工艺的制作方法
    本网络彩票平台平台属于微纳加工制备领域,具体涉及无机/有机纳米材料制备网络彩票平台注册 ,尤其涉及一种基于水冰的电子束诱导刻蚀网络彩票平台注册 。具有单层或多层原子厚度的二维(2d)材料因其与结构有关的独特电子和光学特性而受到广泛关注,例如表现出金属性质的石墨烯。2d过渡金属硫属化物(tmdc)是新兴的一类材料,它们具有直接的带...
  • 一种圆片级薄膜封装方法及封装器件与流程
    本网络彩票平台平台涉及微电子机械封装,特别涉及一种圆片级薄膜封装方法及封装器件。微机械系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)传感器通过缩小敏感结构的尺寸来实现功能的高度集成。空气阻力与结构特征尺寸有关,在低速下宏观尺度物体受到的空气阻力一般可忽略不计,但...
  • 制造电子设备的方法以及对应的电子设备与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求于2019年4月1日提交的意大利专利申请号102019000004835的优先权权益,其内容在法律允许的最大范围内通过引用以其整体合并于此。本描述涉及电子设备。一个或多个实施例可以被应用于诸如微机电系统(mems)类型传感器的传感器。现今,包括微机电系统(mem...
  • 一种在玻璃表面连续批量制作微纳结构的方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及光学微纳元器件加工,更具体地说,涉及一种在玻璃表面连续批量制作微纳结构的方法。光学微纳元器件是制造小型光电子系统的关键元件,其具有体积小、质量轻和造价低等优点,并且能够实现普通光学元件难以实现的微小、阵列、集成、成像和波面转换等新功能。在很多工程应用领域,从现代国防科学技...
  • 基于异质驱动单元的微型热力阵列及其制备方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及微机电系统,特别是涉及一种基于异质驱动单元的微型热力阵列及其制备方法。微机电系统(mems)器件常用的主动调控网络彩票平台注册 有静电驱动、压电驱动和热驱动等。静电调控网络彩票平台注册 可实现对mems器件变形的调控,由于静电吸合及动态调节范围限制等使其应用受到制约。压电驱动是应用非常普遍的驱动方式...
  • 半导体封装结构、产品及其制造方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及半导体封装结构、产品和制造方法,并且涉及包含具有标记(mark)的透气薄膜(air-permeablefilm)的半导体封装结构、具有形成在物体的油墨层(inklayer)上的产品,以及用于制造半导体封装结构的方法。示例性半导体封装结构可包含衬底(substrate)、位在衬底上...
  • 经由前侧沟槽的分段应力去耦的制作方法
    本公开总体上涉及半导体器件及半导体器件的制造方法,并且更地,涉及具有应力消除机构的应力敏感传感器。微机电系统(mems)是微观器件,具体地是具有运动部分的器件。一旦mems可以使用通常被用于制造电子器件的修改的半导体器件制造网络彩票平台注册 被制造,mems就变得实用。因此,mems可以作为集成电路的部...
  • 一种通过微结构保护的疏水材料及其制备方法和应用与流程
    本网络彩票平台平台涉及疏水材料领域,尤其涉及一种通过微结构保护的疏水材料,以及其制备方法和应用。表面疏水网络彩票平台注册 是一门广博精深和具有高实用价值的基础研究网络彩票平台注册 。目前,疏水材料涂层已广泛应用于现代生活和工业领域中的诸多方面。通过设计不同结构、化学和物理特性的材料涂层,能够提供固体材料表面新的附加功能,特别是现...
  • 一种MEMS传感器封装结构的制作方法
    本实用新型属于mems传感器封装,具体涉及一种mems传感器封装结构。以mems加速度计、mems陀螺为代表的mems传感器已经广泛应用于手机、汽车、姿态监测、惯性监测等领域,其主要优势是体积小、功耗低,能够满足各种复杂情景的使用需求。目前国际上adi公司的mems传感器以mems...
  • 一种防泄漏硅压传感器的制作方法
    本实用新型属于传感器,特别涉及一种硅压传感器。采用mems工艺制作而成的硅压传感器具有结构简单、灵敏度高、高可靠性等特点,广泛用于各种环境下的压力监测和数据采集,根据市场应用,部分传感器需要具有绝对的气密性要求,但由于传感器壳体的注塑工艺或材料的冷热收缩会出现配合间隙,导致气体泄漏...
  • 微流路装置的制作方法
    本网络彩票平台平台涉及一种微流路装置。已知有一种具有被称为微流路的微米级宽度的流路的装置(以下,称为“微流路装置”。)。例如在日本专利第5415538号公报中公开有一种器官模仿装置,其作为微流路装置具有被多孔质膜分隔的第一中央微通道及第二微通道。以往网络彩票平台注册 文献专利文献专利文献1:日本专利第5415538...
  • 一种亚纳米级流体通道及其制作方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及流体通道,尤其是涉及一种亚纳米级流体通道及其制作方法。目前,纳米流体通道主要分两种,一种是在氮化硅、氧化硅、石墨烯等薄膜上使用电子束或离子束制备的固态纳米孔,另一种是在氧化硅等薄膜上使用反应离子蚀刻制备的纳米级沟槽。无论是固态纳米孔还是纳米级沟槽的尺寸一般最小为2纳米,无...
  • 封装用的引线定位装置的制作方法
    本网络彩票平台平台涉及封装,特别是涉及一种封装用的引线定位装置。mems传感器封装引线占据器件制造50~80%的成本和工序。可靠地封装引线不仅能有效地保护mems器件,也为mems传感器实现生产应用提供后端可靠的网络彩票平台注册 支持。mems传感器以微纳加工工艺为主体完成微型敏感元件的制作,mems器件的...
  • 一种生物检测芯片衬底及其制备方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及半导体,尤其涉及一种生物检测芯片衬底及其制备方法。当前,病毒检测诊断常使用定量荧光聚合酶链式反应核酸检测(pcr核酸检测)的方法。然而,这种病毒检测诊断,需要对病毒进行聚合酶链式反应扩增(pcr扩增),并在扩增后才能进行检测,检测过程耗时较长、操作繁琐、且需要集中送检等,...
  • 用于无人驾驶决策模拟训练的光学下转换芯片及制备方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及一种用于无人驾驶决策模拟训练的光学下转换芯片及制备方法,属于无人驾驶和红外场景投影。无人驾驶网络彩票平台注册 是通过感知、定位、计算、控制等方式自动安全地操作设备(无人车、无人机、无人船舶)按照规定路线运行的网络彩票平台注册 ,涉及到人工智能、计算机视觉、自动控制等网络彩票平台注册 的综合运用。无人驾驶技...
  • 一种窄禁带半导体/超导体异质结纳米线的制备方法与流程
    本公开涉及半导体材料制备,尤其涉及一种窄禁带半导体/超导体异质结纳米线的制备方法。基于majorana费米子的容错拓扑量子计算是一种近年来被提出并得到认可的解决量子计算机纠错问题的方法。探测并找到majorana费米子是其用于容错拓扑量子计算的关键。2012年,荷兰代尔夫特理工大学...
  • 测量共晶键合对准偏差的测试结构的制作方法
    本网络彩票平台平台涉及一种半导体集成电路,特别是涉及一种测量共晶键合对准偏差的测试结构。如图1所示,是现有硅基mems运动传感器的示意图,包括了3片键合在一起的硅晶圆,即第三硅晶圆101、第一硅晶圆102和第二硅晶圆103。其中,硅基mems运动传感器形成于第一硅晶圆102上,第三硅晶圆101作为第一...
  • 微机电系统装置及其形成方法与流程
    本网络彩票平台平台实施例涉及一种微机电系统装置及其形成方法,且特别是涉及一种压电微机电系统装置及其形成方法。微机电系统(microelectromechanicalsystem,mems)麦克风在现代声音激活(sound-activated)装置(例如,智能扬声器、助听器及麦克风)中正变得越来越普遍。...
  • MEMS器件及其制造方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及半导体制造领域,尤其涉及一种mems器件及其制造方法,更进一步地,该mems器件是压阻式压力传感器和惯性传感器的集成器件。mems(microelectromechanicalsystem,微机电系统)器件由于其体积小、成本低、集成性好等特点,已被越来越广泛地应用在如消费电子、医...
  • MEMS导电件以及导电镀层的制备方法与流程
    本网络彩票平台平台涉及扬声器制备工艺,尤其涉及一种mems导电件以及导电镀层的制备方法。mems导电件对于mems传感器与印刷电路板之间的信号传输是非常重要的元件,mems导电件为了保证稳定高效的信号传输,高质量的mems导电件是必不可少的。在现有网络彩票平台注册 制备mems导电件的工艺中...
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